歡迎來(lái)本廠家咨詢,本廠家值得您選擇.微壓壓力校驗(yàn)儀測(cè)量的步驟，微壓的一般特點(diǎn)就是壓力量程小，受到的環(huán)境影響很大，針對(duì)微壓測(cè)量，壓力校驗(yàn)儀需要進(jìn)行什么方面的工作呢。壓力校驗(yàn)儀微壓傳感器的選擇，主要考慮用戶的使用量程，選擇不同的傳感器。微壓壓力校驗(yàn)儀傳感器接口選擇，以及測(cè)量介質(zhì).微壓傳感器必須進(jìn)行溫度補(bǔ)償，以減小環(huán)境溫度對(duì)壓力校驗(yàn)儀壓力測(cè)量的影響。微壓測(cè)量的位置影響，應(yīng)和校準(zhǔn)狀態(tài)相同，如果位置不一致，則在壓力校驗(yàn)儀測(cè)量前進(jìn)行清零操作。
微壓壓力校驗(yàn)儀靈敏度和線性度的有效仿真方法。實(shí)際的研究中，發(fā)現(xiàn)一種基于對(duì)壓阻式壓力傳感器薄膜表面應(yīng)力的有限元分析(FEA)和路徑積分的仿真方法。通過(guò)這一方法實(shí)現(xiàn)了在滿量程范圍內(nèi)不同壓力值下對(duì)傳感器電壓輸出值的估計(jì)，在此基礎(chǔ)上對(duì)壓力傳感器的靈敏度和線性度進(jìn)行了有效仿真。
微壓壓力校驗(yàn)儀發(fā)展迅速，新研制出的一類傳感器采用壓電單晶片結(jié)構(gòu)，并內(nèi)置前置放大器，通過(guò)放大器放大微弱信號(hào)并實(shí)現(xiàn)阻抗變換，從而使傳感器具有量程小、靈敏度高、抗干擾性好等特點(diǎn)。這類傳感器已廣泛用于脈搏、管壁壓力波動(dòng)等微小信號(hào)的檢測(cè)。但與此同時(shí)，對(duì)于微壓傳感器度的檢驗(yàn)這一技術(shù)難題，就迫切需要簡(jiǎn)便的測(cè)量裝置測(cè)量該類型傳感器的性能。根據(jù)力學(xué)原理，在角區(qū)存在應(yīng)力集中效應(yīng)，使硅膜在正面或背面受壓以后，角區(qū)會(huì)具有應(yīng)力的極值，因此破裂首先從該處發(fā)生。引入應(yīng)力勻散結(jié)構(gòu)以后，使角區(qū)變成具有一定曲率的圓角區(qū)，使該區(qū)的應(yīng)力極值下降。在硅膜與邊框或背島的交界處要形成有一定曲率半經(jīng)的緩變結(jié)構(gòu)，采用一般的常規(guī)各向異性濕法腐蝕是無(wú)法實(shí)現(xiàn)的。為此，采用了掩模-無(wú)掩模各向異性濕法腐蝕技術(shù)。更多相關(guān)產(chǎn)品,請(qǐng)咨詢本公司.
